真空等离子清洗机(离线offline）—— VPC42

设备名称、型号、原产地、交货期

1.1设备名称：真空等离子清洗机

1.2型号：VPC42

1.3原产地(国别、厂家)：北京中科中科同志股份有限公司

1.4交货期：合同生效后4-8周

1.5主要用于硅晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、铜引线框架、大尺寸单面基板电源板、IGBT模块、带治具的MEMS传感器、微波器件、滤波器、射频器件等半导体封装领域的等离子表面处理工艺。

设备主要技术性能指标：

1.1设备名称：真空等离子清洗机

1.2型号：VPC42

1.3原产地(国别、厂家)：北京中科中科同志股份有限公司

1.4交货期：合同生效后4-8周

1.5主要用于硅晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、铜引线框架、大尺寸单面基板电源板、IGBT模块、带治具的MEMS传感器、微波器件、滤波器、射频器件等半导体封装领域的等离子表面处理工艺。

2.13 具有氮气、氩气等流量管理及分析系统（软件+硬件）。（选配）

VPC42型真空等离子清洗机具有整机消耗氮气、氩气等工艺气体的实时管理及分析功能，可以实时分析气体使用量、日使用量、周使用量、时间段使用量等记录和分析功能。

2.14 具有工艺气体压力报警功能和分析系统（软件+硬件）。（选配）

VPC42型真空等离子清洗机具有整机生产过程中工艺气体气源欠压报警及记录和分析功能，对产品质量追溯超有用。

2.15 具有能源管理及分析系统（软件+硬件）。（选配）

VPC42型真空等离子清洗机具有能源消耗实时管理及分析功能，可以分析实时耗电量、日耗电量、周耗电量、时间段耗电量等记录和分析功能。

2.16 具有产量统计管理及分析系统（软件+硬件）。（选配）

VPC42型真空等离子清洗机具有整机真空处理产品产量实时管理及分析功能，可以实时班产量、日产量、周产量、月产量登并记录和分析，用于产品质量追溯和分析。

2.17 具有MES数据接口子系统（软件+硬件）。（选配）

VPC42型真空等离子清洗机具有整机MES数据接口功能，可以选配并配置MES系统，完成智能设备的各种数据采集及分析。

2.18 设备外形尺寸：

850*960*1680mm（不包括警灯