每个加热区上下同时加热,温度更均匀。
采用先进的甲酸回流工艺,有效去除氧化物和污染物。
每个区都有独立真空控制,可编程控制甲酸供应量和氧含量。更利于控制回流的效果。
工艺编程简单,可方便各种制程的导入
兼容性强,整机可以兼容8、12寸标准晶圆及翘曲晶圆。
产品配置3组独立的加热腔体,可实现晶圆均匀的升降温要求。
产能高,每小时产能可达40-120片。
维护保养方便简单,保养间隔时间大于3周。
可编程参数:温度,升温斜率、降温斜率、运动速度、甲酸量、真空。
设备所有参数可以无缝对接MES系统。做到真正的智能装备。