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晶圆甲酸回流炉⸺BR0300

晶圆甲酸回流炉⸺BR0300

A、每个区上下同时加热,温度更均匀。 B、采用先进的甲酸回流工艺,有效去除氧化物和污染物。 C、每个区都有独立真空控制,可编程控制每个区的甲酸供应量和氧含量。 更利于控制回流的效果。 D、工艺编程简单,可方便各种制程的导入。 E、兼容性强,整机可以兼容8、12寸标准晶圆及翘曲晶圆。 F、产品配置4组独立的加热腔体,可实现晶圆均匀的升降温要求。

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A、每个区上下同时加热,温度更均匀。

B、采用先进的甲酸回流工艺,有效去除氧化物和污染物。

C、每个区都有独立真空控制,可编程控制每个区的甲酸供应量和氧含量。 更利于控制回流的效果。

D、工艺编程简单,可方便各种制程的导入。

E、兼容性强,整机可以兼容8、12寸标准晶圆及翘曲晶圆。

F、产品配置4组独立的加热腔体,可实现晶圆均匀的升降温要求。

G、产能高,每小时产能可达40-120片。

H、维护保养方便简单,保养间隔时间大于3周。

I、可编程参数:温度,升温斜率、降温斜率、运动速度、甲酸浓度、真空 抽速,真空吸附。

常见问题

你们的产品多少吨起订?需求量少怎么办?
您好,每种规格8吨起订;需求量少,可拨打客服热线:010-888888,让客服协助您进行现货查询。
你们是工厂还是经销商?
您好,我们是大型生产厂家,上市企业。用户遍布全球,三星、海尔、日立等都是我们的长期合作伙伴,可放心采购。
你们的报价是固定的么?
您好,我们的报价由两部分组成,发货当天收盘均价+加工费,由于铝锭价每日都有波动,所以报价会有浮动。
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您好,我们是大型生产厂家,上市企业。用户遍布全球,三星、海尔、日立等都是我们的长期合作伙伴,可放心采购。
你们的报价是固定的么?
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