1、设备共有3区,分别是:预热、加热、冷却(具备独立的工艺腔体);每个腔体都具备观察窗,工艺腔体压力在0.2~1050mbar。 2、设备支持氮气、甲酸(氮气+甲酸)气氛环境,并能精准控制;支持焊片工艺 3、可编程多段抽真空功能:每个腔体具有独立的真泵及控制系统,真空度<1mbar,抽速10 升/秒,加装软抽阀,速率可调。腔体真空数值实时显示并可控制和调节。