A、每个区上下同时加热,温度更均匀。
B、采用先进的甲酸回流工艺,有效去除氧化物和污染物。
C、每个区都有独立真空控制,可编程控制每个区的甲酸供应量和氧含量。 更利于控制回流的效果。
D、工艺编程简单,可方便各种制程的导入。
E、兼容性强,整机可以兼容8、12寸标准晶圆及翘曲晶圆。
F、产品配置4组独立的加热腔体,可实现晶圆均匀的升降温要求。
G、产能高,每小时产能可达40-120片。
H、维护保养方便简单,保养间隔时间大于3周。
I、可编程参数:温度,升温斜率、降温斜率、运动速度、甲酸浓度、真空 抽速,真空吸附。




